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流体控制设备_
发布时间:2024-01-29 20:15:30

  本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外,能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括:信息处理模块(5),其设置在设备内;阀体(11)流体控制设备_,其具有流路;致动器机体(12),其固定于阀体(11);壳体(13),其为中空,固定于致动器机体(12),并在侧面形成有贯通孔(133d);活塞(126),其设置在致动器机体(12)内,并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b);以及导入管(21),其为导入驱动压的管,一端插入至驱动压导入路(126b),另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。

  (72)发明人铃木裕也;米华克典;落石将彦;原田章弘;丹野龙太郎;篠原努